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雙頻激光干涉儀

LH2000雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品描述:

專為計(jì)量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀
性能卓越的高精度線性位移、長度檢測標(biāo)定工具

服務(wù)熱線:4008168900
立即咨詢

    滿足計(jì)量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求;

    以光刻機(jī)用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ),

    在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí),

    將光源和測量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里,

    一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn);

    典型頻差7±0.5 MHz,測速高達(dá)2m/s。

 系統(tǒng)組成:
     LH2000激光測頭及附件
     環(huán)境補(bǔ)償單元
     LaserLC測量軟件
     線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
     光學(xué)調(diào)整附件
     三腳架及其他測量附件
 

(欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點(diǎn)和差異,請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀




激光頭尺寸330mm×110mm×95mm
激光頭重量3.3kg
激光光束直徑6mm
激光功率 >0.5mw
真空波長632.99nm
頻差可定制 典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍+10℃~+30℃
儲(chǔ)存溫度范圍+15℃~+45℃
激光穩(wěn)頻精度±0.02ppm
線性測量范圍40m
線性測量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補(bǔ)償器)
分辨率1nm
測量速度2m/s
工作電源220V/50Hz



懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。


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LH2000用于三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)

LH2000用于數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)

 

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